突破技術瓶頸 AZZURRO量產8吋矽基板LED

作者: 林苑卿
2012 年 09 月 19 日

AZZURRO Semiconductors將正式投產8吋矽基氮化鎵(GaN-on-Si)發光二極體(LED)。繼2011年量產6吋晶圓後,AZZURRO Semiconductors日前再度公開宣示,將於2013年第二季導入8吋矽基氮化鎵LED晶圓生產,以迎合未來客戶需求。
 


AZZURRO Semiconductors業務與市場行銷副總裁Erwin Ysewijn表示,6吋矽基氮化鎵LED晶圓面積為2吋的九倍,由此推估,8吋矽基氮化鎵LED晶圓的生產速度與成本將更具競爭力。





AZZURRO Semiconductors業務與市場行銷副總裁Erwin Ysewijn表示,由於動態隨機存取記憶體(DRAM)需求下滑,不少8吋DRAM廠房閒置,是矽基氮化鎵LED晶粒製造商可善加利用的現成生產設備,因此AZZURRO Semiconductors正快馬加鞭展開8吋矽基氮化鎵LED晶圓量產,並已成功運用專利的應力控制技術,突破曲度和薄膜厚度不均的技術桎梏,助力提升8吋矽基氮化鎵LED晶圓生產良率。
 



Ysewijn指出,現階段AZZURRO Semiconductors的6吋矽基氮化鎵LED晶圓已大量出貨,至於8吋晶圓年底前將會送樣給特定客戶進行產品驗證,待驗證通過即可進入量產期。
 



據了解,由於4吋以下的矽基氮化鎵LED較不易突顯優於傳統藍寶石基板LED的價格競爭力,促使矽基氮化鎵LED晶圓廠紛紛朝向更大直徑的晶圓布局。
 



Ysewijn強調,在藍寶石基板LED單價跌跌不休之下,4吋以下的矽基氮化鎵LED與藍寶石基板LED價差並不顯著,不過6吋矽基氮化鎵LED晶圓面積為2吋的九倍之多,因此未來生產速度與成本將略勝藍寶石基板LED一籌。
 



至於是否朝向12吋矽基氮化鎵LED發展,Ysewijn認為,目前12吋晶圓製程產能吃緊,已無多餘的產線供矽基氮化鎵LED製造商量產使用;再者,重新投資12吋晶圓廠的成本過高,因此短期之內,AZZURRO Semiconductors不會有量產12吋矽基氮化鎵LED的規畫。

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